作者：王彦,刘加萍,刘吉虹,赵凯,梁大开 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2017年第06期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2017060050 DOC编号：DOCGXJM2017060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了提高光纤EFPI传感器的灵敏度，提出了一种新型EFPI传感结构，并对其温度特性以及横向负载特性进行了研究。首先，介绍了采用端面镀钯金膜的光纤EFPI传感器的结构及其制作方法；接着，建立了镀钯金膜光纤EFPI的温度传感模型，并通过Solidworks、Hypermesh与有限元分析软件ANSYS联合仿真，对它在不同受压力下进行理论模拟，获得了腔长变化与压力之间的关系；最后，对传统的光纤EFPI与镀钯金膜光纤EFPI的温度和横向负载特性进行了对比试验。试验结果表明，镀钯金膜光纤EFPI的温度灵敏度为6.083pm/℃，具有温度自补偿特性；它对横向负载的检测灵敏度可达40.83m/g，相对于传统的光纤EFPI横向负载的灵敏度提高了2.10倍。实验结果与理论分析相符合，为实际制作具有温度自补偿的高灵敏度光纤EFPI传感器提供了理论与实验依据。

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