作者:赵学峰,崔建利,高飞,张志东,闫树斌 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2017年第07期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2017070040 DOC编号:DOCCGJS2017070049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有“V”型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器。针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98%k Pa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景。

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