作者：廖平,任成,杨小雨 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》2017年第05期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC2017050040 DOC编号：DOCGDGC2017050049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现对微小位移的高精度非接触测量，设计了一种基于线阵CCD的高精度位移传感器前端模块。运用激光三角测量法设计了光学镜头，利用FPGA产生线阵CCD所需的驱动时序，CCD输出的一维视频信号经过前置电路处理后得到稳定的模拟信号，供数字电路进行处理。系统具有结构简单、体积小、输出信号稳定、分辨率高、测量精度高等特点。实验测试表明，该传感器前端模块输出模拟信号稳定，干扰小，计算得到最大量程为&#177；15 mm，精度可达到20?m，能广泛应用于微小位移的精密测量。

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