作者：高杨,黄振华,尹汐漾 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2016年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2016120070 DOC编号：DOCCGJS2016120079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性，本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT)，设计、制作了一种能够满足该FBAR谐振频率测量带宽(1.3 GHz~1.7 GHz)要求的PCB上微带六端口网络和检波器，配合射频信号发生器和示波器，获得了模拟DUT(50ΩSMA匹配负载)的反射系数-频率(Γ-f)曲线测量结果。与矢量网络分析仪(VNA)的测量结果进行了对比，两者吻合较好，实验验证了“基于六端口反射计的BAW传感器读出电路”可用于FBAR谐振频率的测量。本文工作对实用化BAW传感器的研制和片上矢量网络分析仪(VNA-on-Chip)的设计都有借鉴意义。

    📙 相关资料

    1. 《基于六端口反射计的体声波传感器读出电路》PDF+DOC 由于体声波传感器具有灵敏度高，准数字量输出，便于集成和工作频率高等特点，使其近几年迅速发展，且因为体声波传感器具有工作频率高的特点，导致其读出电路部分复杂，不易集成，致使体声波传感器的实用性不高。为推进体声波传感器的实用化，该文提出一种基于六端口反射计的体声波传感器读出电路代替使用矢量网络分析仪的原......
    2. 《微带六端口网络的工艺健壮性分析》PDF+DOC 为确保微带六端口网络能替代矢量网络分析仪用于体声波传感器的射频输出信号检测，分别从微带金属导线的宽度误差和厚度误差对微带六端口网络工作频段的影响进行分析。采用ADS软件的射频等效电路仿真分析得出：微带金属导线的宽度对六端口网络的工作带宽影响较大，金属导体厚度对工作带宽的影响很小，几乎可以忽略不计；由......
    3. 《薄膜体声波传感器及其读出电路进展》PDF+DOC 薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率，低功耗，小尺寸及制造工艺IC兼容的特点，使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器，如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质量探测器，与采用其他微电子机械系统的同类传感器相比，已取得了更好的......
    4. 《FBAR振荡器作为六端口反射计射频源的BAW传感器读出电路》PDF+DOC 为解决由于FBAR的谐振频率处于射频频段，导致BAW传感器读出电路难以实现的问题，将FBAR振荡器作为六端口反射计射频源，以检测FBAR谐振频率，从而实现BAW传感器信号读出的新型读出电路。在ADS软件中，通过建立FBAR的MBVD模型并采用Pierce拓扑结构实现FBAR振荡器的仿真模型，以及建立......
    5. 《体声波传感器的系统级行为仿真》PDF+DOC 为证明六端口网络可用于体声波(BAW)传感器读出电路，对包含薄膜体声波谐振器(FBAR)和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路模型和对微带六端口网络建立等效电路模型。微带六端口网络的端口1连接射频源，端口2与FBAR相连，其他4个端口分......
    6. 《基于Pierce振荡器架构的BAW传感器读出电路》PDF+DOC 薄膜体声波谐振器(FBAR)不仅能作为手机射频前端的滤波器，还具有充当传感器表头的潜力。为实现对体声波(BAW)传感器输出射频信号的检测，设计一种基于Pierce振荡器的BAW传感器读出电路。读出电路采用双路差分方式，将体声波谐振器构成两路振荡器，一路作为参考电路用于检测外界环境等因素的干扰，另一路......
    7. 《品质因数对薄膜体声波谐振器振荡器频率稳定度的影响》PDF+DOC 在薄膜体声波谐振器(FBAR)振荡器中，振荡器的有载品质因数(QL)和FBAR的品质因数(Q值)均与振荡器的频率稳定度有关。为了研究这两种品质因数对FBAR振荡器频率稳定度的影响，在COMSOL Multiphysics软件中建立了FBAR的多物理场模型，通过频域仿真和MBVD(Modified B......
    8. 《一种安全廉价的信息传感器》PDF+DOC 文章提出的开短路信息传感器适用于易燃易爆品仓库等特殊环境的报警和自动控制，其可靠控制距离不短于３００ｍ。...
    9. 《分布式入侵检测系统监控点及监控网段部署方法的研究》PDF+DOC 本文从实现的角度研究分析了入侵检测系统中监测点位置的选择及监控网段的部署问题。提出在外部网络连接处、内部网络关键点及重要计算资源处部署IDS传感器，尽可能的完成对敏感数据的收集工作。同时，分析比较了监控网段的几种实现方法及其局限，提出在网络流量超过一个IDS传感器能力的情况下的多传感器分流的方法。比......
    10. 《温度补偿模式下具有高灵敏度和高分辨率的声波传感器》PDF+DOC 0引言近年来，基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注，并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域[1]。与已经投入广泛应用的石英晶体传感器(QCM)不同的是，现代的工艺能让FBAR设计得很薄(&lt；1μm)，更薄的FBAR能得到更高的共振频率(&gt；1 GHz)从而得......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。