作者:杨英花,余隽,吴昊,李中洲,唐祯安 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2017年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2017040020 DOC编号:DOCCGJS2017040029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点。利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO_2多孔薄膜。根据打印机的定位精度和微热板的悬空尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打印层数,以及打印后的干燥工艺参数;通过扫描电镜对薄膜结构进行微观表征,敏感薄膜表面平整,成膜均匀;最后对其进行气敏测试,当微热板工作在250℃时,打印的SnO_2气敏薄膜对乙醇有良好的响应,检测到最低乙醇浓度为0.5×10~(-6),响应和恢复时间均在3 s左右。

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