作者：连海山,弓满锋,郭钟宁 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016120370 DOC编号：DOCYBJS2016120379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在微细超声加工与微细超声振动辅助加工中，微振幅是关键的加工参数，直接影响到加工精度与加工效率。对于只有几μm甚至更小的振幅，很难用传统的振幅测量方法测量出来。针对主轴微细超声振动系统输出的微振幅，提出了一种新的微振幅在线测量方法。利用精密微三维运动平台的高分辨率，将平台A轴的运动与微细工具所受实时力结合起来，使其形成闭环运动控制系统。通过设定相同的接触力，计算有超声与无超声作用于微细工具A轴坐标值的变化，即可获得微细工具的振幅值。应用这一新的振幅测量方法，成功地测量出精确到0.1μm的振幅值。

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