作者：何安,曹宇,姜小霞,张健,刘文文,陈益丰 单位：上海市激光研究所 出版：《应用激光》2017年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYJG2017020210 DOC编号：DOCYYJG2017020219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 聚晶金刚石(PCD)坯料的传统平整加工工艺如机械磨削、电火花铣削、超声波磨削、激光铣削等，工艺流程为开环控制，难以达到超精密加工所要求的平整度和光洁度。将二维激光位移传感器与激光扫描振镜集成在同一加工头上，与XYZ三轴工作台配合，实现了在线测量PCD表面起伏形貌与自动分块激光扫描抛光的闭环工艺控制。研究了激光能量密度、光斑搭接率、扫描速度对抛光质量的影响。结果表明，较小的激光能量密度、80%光斑搭接率、扫描速度为100mm/s时，可获得最佳的抛光效果。经过4次闭环抛光后，PCD坯料表面粗糙度Ra由40.7μm降低到1.21μm，表面平面度由130μm降低到30μm，抛光精度与机械精磨相仿，测量-加工闭环控制具有显著的工程应用意义。

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