作者：黎璇,王文,黄杨青,刘鑫璐,梁勇 单位：中国科学院声学研究所 出版：《应用声学》2016年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYSN2016040090 DOC编号：DOCYYSN2016040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《数字线加速度传感器的研究》PDF+DOC1998年第01期 苏中,李擎,张福学 《压电加速度传感器校准及测量不确定度评定》PDF+DOC2016年第S1期 王乐,屈长明 《加速度传感器安装方式对灵敏度的影响》PDF+DOC2017年第02期 于雪莲 《谐振式声表面波加速度传感器特性研究》PDF+DOC1999年第03期 王生江,董永贵,冯冠平 《声表面波加速度计》PDF+DOC1990年第05期 周绍明 《全保偏光纤加速度矢量传感器的设计与实验》PDF+DOC2004年第03期 罗洪,熊水东,陈儒辉,胡永明,倪明,孟洲 《基于弹性管的光纤布拉格光栅加速度传感研究》PDF+DOC2012年第07期 刘钦朋,乔学光,赵建林,贾振安,傅海威,高宏 《CO_2激光写入的长周期光纤光栅加速度传感器实验研究》PDF+DOC2009年第11期 史翠华,朱涛,饶云江,柯涛,徐敏 《一种新型压电加速度传感器研究》PDF+DOC2014年第03期 于润祥,石庚辰,隋丽,王亚军 《低频光纤布拉格光栅振动加速度传感器研究》PDF+DOC2013年第12期 罗小东,乔学光,贾振安,高宏,邵敏,陈国祥

    • 为获得传感器的优化设计，对一种声表面波梁式加速度传感器敏感机理进行了研究。从声波波动方程出发，结合有限元分析以及微扰理论对加速度作用力作用下声表面波传播特性进行分析，以此构建梁式声表面波加速度传感器敏感机理的理论模型，特别分析了压电梁材料及几何结构、振子质量对传感响应的贡献以确定传感器优化的几何参数。为验证理论分析结果，实验研制了基于ST-X石英悬臂梁结构的差分振荡式声表面波加速度传感器，并利用精密振动台对所研制传感器性能进行评价。实验结果显示，在给定加速度测试范围内，采用ST-X石英梁并延长梁长度、降低梁厚度以及采用较大的阵子质量将有效的改善传感器检测灵敏度，在&#177；2 g范围内加速度灵敏度可达27 k Hz/g，且实验结果很好的验证了理论模型。

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