作者:王涛龙,梁庭,王心心,张瑞,刘雨涛,熊继军 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2016年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2016030030 DOC编号:DOCYBJS2016030039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于厚膜工艺的微型FAIMS生化气体传感器设计》PDF+DOC2015年第12期 王涛龙,梁庭,高利聪,张瑞,王心心,刘雨涛 《基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备》PDF+DOC2013年第06期 李晨,熊继军,谭秋林,康昊,葛斌儿,王伟 《FAIMS气体传感器的特性研究》PDF+DOC2020年第03期 赵东杰,游思晴,杨玺,马廷伟,周明 《自供能气体传感器研究进展》PDF+DOC2018年第01期 谢光忠,王斯,谢法彪,苏元捷 《一种AlN基陶瓷微热板NO_2气体传感器研究》PDF+DOC2018年第06期 王欣,赵文杰,张福君,王暄,施云波 《压电及其它功能器件》PDF+DOC1995年第05期 《传感器的发展和应用》PDF+DOC1990年第04期 杨宏 《半导体功能材料的发展动向》PDF+DOC1990年第05期 康昌鹤 《光谱吸收型光纤气体传感器解调系统的研究》PDF+DOC2005年第09期 姜德生,冉昌艳,柏俊杰,张爱军 《电流型氟化氢气体传感器的研究》PDF+DOC2013年第06期 薛永亮,张永超,张小水,詹自力,古瑞琴,谷永谦
  • 陶瓷具有稳定的电特性、机械鲁棒性、化学惰性和超强的可塑性,因而得到广泛的应用。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和新型屏蔽电极的设计实现生化气体传感器的制备。气体传感器采用高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)原理,通过丝网印刷技术来实现迁移电极、屏蔽电极、测试电极等功能器件的安置,并且在气流通路中填入碳膜(印刷碳浆料)有效地防止了层压中气流通路的坍塌,保证了气流通路上下极板的平整,使得所制传感器的功能精度得到了有效的保证,避免了器件间的封装、引线外连,为生化气体传感器的稳定工作奠定基础。

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