作者：刘彬,刘欢,林杰,金鹏 单位：哈尔滨工业大学 出版：《哈尔滨工业大学学报》2016年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHEBX2016030020 DOC编号：DOCHEBX2016030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为改善膜片式Fabry-Perot光纤声压传感器中悬空薄膜的平整度，提高其检测微弱声压的能力，提出一种大面积银薄膜转移加工方法.采用磁控溅射沉积银薄膜，利用基于正性光刻胶的牺牲层工艺进行转移贴合.银薄膜直径为2.5 mm，厚度为130 nm.实验结果表明：银薄膜薄膜表面平整度&lt；20μm；加工得到的声压传感器在0.13.0 k Hz频带范围内具有一致的频响特性，在1 k Hz处的声压灵敏度为-158 d B(参考值1 V/μPa).在0.0011.250 Pa声压范围内，传感器输出响应与入射声压之间具有良好的线性关系；最小可探测声压为419μPa&#183；Hz-0.5.所提出的加工方法可有效改善薄膜的平整性，并具有良好的工艺性和可重复性；加工得到的传感器适应于高灵敏度微弱声压探测工作。

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