作者：郝旭欢,常博,郝旭丽 单位：江苏省科技情报研究所 出版：《无线互联科技》2016年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXHK2016030420 DOC编号：DOCWXHK2016030429 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在微电子技术高速发展的大潮中，MEMS(Microelectro-mechanical systems)传感器也得到广泛应用。首先，文章简单介绍MEMS传感器的概念、特点、典型代表。其次，举例阐述其在国内外的最新研究进展、产品及应用情况，包括基本原理、实现功能的先进性。最后，从无源化、材料多样化、微型化等方面对MEMS传感器的发展方向进行展望。

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