作者：孙英,尹泽楠,许玉杰,刘非 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2017年第10期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2017100060 DOC编号：DOCBDTQ2017100069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 通过分析电容式触觉传感器的基本工作原理与研究热点，指出了电容式触觉传感器在结构设计中存在着难以兼顾分辨率、测量精度和灵活性的关键问题。参照电容式触觉传感器内的微电容结构，从微电容的电极层、介质层和整体结构等三个方面出发，介绍了国内外电容式柔性触觉传感器近年来在新材料应用、新工艺引入、结构设计和三维力检测等方面的研究进展，提出可调节测量范围与灵敏度的触觉传感器将是进一步研究的热点。最后结合电容式柔性触觉传感器的实际应用，指出了未来的电容式触觉传感器正朝着微型化、集成化、透明化与多功能化等方向发展。

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