作者：于进,马锓,张洪泉 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2009年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2009100230 DOC编号：DOCCGQJ2009100239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了基于微加工技术的微湿度传感器，介绍了湿度传感器基于差分电路原理的温度补偿方法，实验证明：制作的湿度传感器具有半对数线性，环境温度为10~40℃时，湿度传感器输出变化小于&#177；4%RH。

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