作者：郑文玮,谢长生,张国柱 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2016年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2016080020 DOC编号：DOCCGJS2016080029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为研究金属离子对金属氧化物半导体的表面敏化作用，以均匀沉淀法制备了ZnO纳米颗粒，并通过金属离子表面微滴注以及二次退火的方法制备出金属离子表面修饰的平面型ZnO气体传感器阵列。并以乙醚蒸汽为目标气体，进行气敏性能测试。发现大部分传感器对乙醚响应性很好，并且经过表面修饰，ZnO的乙醚敏感性能大多得到提升。特别地，Mg~(2+)表面修饰的ZnO膜层展现了最优的气敏性能。X射线光电子能谱和光致发光谱证实，经过Mg~(2+)表面修饰之后，氧空位缺陷浓度明显增加，并且表面羟基基团的数量显著减少，二者的协同作用构成了Mg~(2+)表面修饰ZnO的敏化机制。

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