《《微纳电子技术》》PDF+DOC
作者：
单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
出版：《微纳电子技术》2020年第03期
页数：1页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFBDTQ2020030140
DOC编号：DOCBDTQ2020030149
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《微纳电子技术》是中文核心期刊，被国内外多家知名数据库收录。栏目分为：技术论坛，器件与技术，材料与结构，MEMS与传感器，加工、测量与设备。主要内容包括：纳电子学、微系统与纳系统、纳电子器件与技术、纳米材料与结构、功能材料与新材料、纳米测试与显微技术、MEMS与传感器、微细加工技术与设备、纳米技术应用等领域国内外的最新进展，并兼顾微电子领域的最新研究成果。
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