作者：张国帅 单位：上海市科普作家协会 出版：《科技视界》2020年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJSJ2020050460 DOC编号：DOCKJSJ2020050469 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文突破传统阻容分压、电阻分压电压传感器的设计思路，基于MEMS加工技术，设计了一种十字梁结构膜片，建立了数学模型，利用有限元分析法对其结构进行仿真研究，得到十字梁硅微结构的电压传感膜片理想参数，通过对十字梁膜片进行固有频率分析，计算出远大于工频，表明设计的十字梁膜片能对交、直流电压进行测量。

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