作者：徐洋 单位：中国电子学会 出版：《电子技术与软件工程》2020年第08期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZRU2020080360 DOC编号：DOCDZRU2020080369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文设计了一种热隔离式MEMS气体流量传感器系统，系统基于复合支撑薄膜电调制红外辐射源，是单片式电容硅基微传声器，借助接口连接微孔粉尘过滤、低温除湿器，实现MEMS与IC集成。在紧急应急方面，借助长光程气体池、光路系统，对光源、检测器进一步优化，通过可扩充多气体分析软件、仪器自动操控软件，在线监测化工区域生产数据，一旦出现突发问题会自动启动应急救援系统，避免灾害进一步扩大。

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