作者:陈贵东,石梦,毛海央,熊继军,陈大鹏 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2020年第06期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2020060070 DOC编号:DOCBDTQ2020060079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《HMP45D温湿度传感器的检定校准》PDF+DOC2009年第03期 孙文良,沈秋宇,于文博,李东宇,李大明 《一种电容型高分子湿度传咸器研究》PDF+DOC1997年第05期 孙承松,周立军,李云鹏 《我国湿度敏感材料的研究现状与发展趋势》PDF+DOC 刘博华,袁疆鹰,丛秀云 《多孔Al_2O_3电容式湿度传感器长期漂移的机理研究》PDF+DOC1990年第04期 骆如枋 《一种新型结构的湿度传感器》PDF+DOC1989年第02期 高元恺,韩爱珍,卢钢,吴杰 《高分子湿度传感器的研制》PDF+DOC2005年第10期 陈翠萍,蒋波,谢光忠,蒋亚东 《硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究》PDF+DOC2005年第06期 万灵,温殿忠,白续铎,唐祺,肖艳玲 《高分子电容式湿度变送器研究》PDF+DOC2003年第S2期 谢光忠,黄春华,蒋亚东,杨邦朝 《电容式湿度传感器“输出限幅”的机理探讨》PDF+DOC2001年第01期 陈丽洁,王凡,耿振亚,陈宝军 《聚酰亚胺湿敏电容的制备与性能研究》PDF+DOC2013年第01期 许梅芳,虞鑫海,吴一奇,王剑平,吉淳
  • 提出了一种基于纳米森林的电容式湿度传感器。该湿度传感器利用等离子体技术制备的纳米森林作为湿度敏感层,湿度敏感范围为30%RH~90%RH,且在大于60%RH的湿度范围内灵敏度达到1.87 pF/%RH,同时响应和恢复时间分别约为3.2 s和6 s。当传感器置于湿度环境中时,吸收在纳米森林表面并凝结在表面孔隙中的水分子导致纳米森林介电常数发生变化,进而引起电容值的改变。通过与聚酰亚胺湿度传感器对比,证明基于纳米森林结构的湿度传感器具有更加优异的湿敏性能。此外,该传感器还可作为湿度触发的非接触式开关,有望应用于电梯按键等公共设备上,用于抑制细菌传播。

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