作者:刘磊,王发稳,申强,夏久龙 单位:中国电子科技集团第四十五研究所 出版:《电子工业专用设备》2020年第03期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDGZS2020030100 DOC编号:DOCDGZS2020030109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 论述了NIKON i12D(type3)光刻机平边定位工作原理,并以NIKON i12D(type3)光刻机为基础,通过对找平边传感模块的硬件和电路改造,实现了对GaN晶圆平边的有效识别。测试结果表明,成功率高,稳定性好;减少了不必要的生产流程,提高了生产效率。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。