作者：赵永昌,孙国先 单位：广东省对外科技交流中心 出版：《电脑与电信》2020年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGZDN2020070200 DOC编号：DOCGZDN2020070209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对基于压阻效应和电容原理的硅微加速度传感器存在温度漂移、分辨率低和抗干扰能力差的缺点，提出一种基于双声表面波器件的引信加速度传感器。该传感器采用双声表面波器件结构，一个声表面波器件上镀以敏感膜用于测量，另一个声表面波器件是未镀膜的参考通道用于对环境温度、压力、湿度等因素的补偿。验证试验结果表明：基于双声表面波器件的引信加速度传感器最大线性误差仅为1.6%，灵敏度为54.3Hz/g，最大迟滞误差小于1%。该加速度传感器相比于压阻式和电容式加速度传感器，线性误差小、灵敏度高，具有极强的抗干扰能力。

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