作者：文吉延,刘玺,刘志远,刘洋,周明军,金鹏飞 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2020年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2020060270 DOC编号：DOCCGQJ2020060279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 报道了一种基于厚膜工艺的氢气传感器。首先采用丝网印刷工艺制作铂加热器线条，再在其上面分别覆有纳米催化剂/氧化铝形成气敏元件、涂覆纳米氧化铝构成补偿元件，最后制成氢气传感器。测试结果表明：传感器灵敏度大于21 m V/1%H2，响应时间小于30 s，非线性和重复性优于2%。

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