作者：于海超,尚瑛琦,刘智辉,张岩 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2020年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2020050010 DOC编号：DOCCGQJ2020050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对当前基于锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)薄膜微系统器件的研究进展进行了综述，对PZT传感器、PZT能量收集器、PZT驱动器的研究进展以及采用不同工艺PZT薄膜的制备技术进行了阐述。对基于PZT薄膜微系统(MEMS)器件的发展趋势进行了展望。

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