作者:张耿,黄捷讯,黄晓园,张绍强,郑华,叶海 单位:东莞理工学院学报编辑部 出版:《东莞理工学院学报》2020年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDGLG2020030060 DOC编号:DOCDGLG2020030069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《平面电容传感器设计及在材料探伤中的应用研究》PDF+DOC2014年第07期 汪蓓蓓,黄云志,刘永洪 《船用计程仪平面传感器》PDF+DOC2010年第12期 《三维力柔性触觉传感器电极研究与实验》PDF+DOC2013年第01期 黄英,缪伟,李雷鸣,蔡文婷,杨庆华,葛运建
  • 针对平面传感器对电极在外观、电学性能方面的特殊要求,设计了一种螺旋结构的叉指电极,并重点研究采用激光打标设备刻蚀制作ITO薄膜平面叉指电极时,工作功率、刻蚀速度、刻蚀刀数、填充间距等工艺参数对刻蚀效果的影响,探索出最佳的刻蚀工艺条件。研究结果表明,采用激光打标设备加工薄膜型平面电极,可满足平面气体传感器的实际应用需求。

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