作者：刘林仙,王朝阳,乔楠楠 单位：中国兵工学会 出版：《测试技术学报》2020年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCSJS2020040160 DOC编号：DOCCSJS2020040169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于MEMS技术和仿生学设计了一种纤毛+薄膜振动传感器敏感结构，由垂直纤毛和两个相互垂直的悬臂梁构成信息接收和传递单元，沉积在与悬臂梁末端固连的硅衬底薄膜上的PZT压电薄膜作为敏感转化单元.建立了该传感器结构的等效运动模型，在此基础上对传感器的输出特性和频率特性进行了数学分析.利用ANSYS有限元软件对不同结构及几何参数的敏感结构进行了仿真分析，对比仿真结果，优化传感器的结构和几何参数.仿真结果表明该结构传感器共振频率达到了6 757.4 Hz。

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