作者：周易,王磊,李军,杨雪雷,甘峰源,赵瑛璇,仇超,李伟 单位：中国科学院上海技术物理研究所;中国光学学会 出版：《红外与毫米波学报》2020年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWYH2020030020 DOC编号：DOCHWYH2020030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于光子晶体的二维多通道光学化学传感器。该器件由中心波长为3.3μm的四个腔组成，各通道工作波长间隔为10 nm。该传感器采用800 nm厚的绝缘体上硅材料，可利用标准CMOS技术加工。通过三维时差有限差分法对微腔结构的光学特性进行模拟。每个通道的传输效率为39%，通道之间的传输效率不一致性小于0.25dB。该传感器的功能为检测四氯化碳和苯溶液浓度，其灵敏度为209.2 nm/RIU。

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