作者：吴入军,张晓峰,陈田,马雪芬,于忠海,郑百林 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2020年第07期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2020070040 DOC编号：DOCYBJS2020070049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 由于MEMS传感器基片与基体并不接触，基体应变并不能准确地传递到MEMS传感器基片上，造成MEMS应变传感器的测量应变与基体的真实应变有一定的误差。为进一步提高MEMS测量应变的精度，利用考虑剪滞效应的弹性理论研究MEMS传感器应变传递机理，建立力学模型，得出测量应变与基体真实应变之间的关系；最后分析了传感器基片、粘结层和基体对灵敏度系数的影响。结果表明：灵敏度系数随着传感器基底厚度和弹性模量的增大而逐渐减小；随着粘结层厚度的减小、弹性模量的增大而逐渐增大；随着基体刚度的增大而逐渐增大。通过对MEMS应变传感器应变传递机理的分析，对MEMS传感器的设计和使用提供一定的参考。

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