作者：段力,姬中林,翁昊天,李继保,林宇震,曹学强 单位：中国航空制造技术研究院 出版：《航空制造技术》2020年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKGJ2020050090 DOC编号：DOCHKGJ2020050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用MEMS微制造集成技术，在航空发动机涡轮叶片表面成功地制作了薄膜高温温度传感器，攻克了叶片表面高温绝缘、曲表面光刻及高温可靠导线互联等一系列关键技术难关。对薄膜传感器及高温连线系统进行了一系列温度循环测量试验，读数可靠稳定、重复性好，并承受住了苛刻的振动冲击试验(10～2000Hz/40g的振动及8g的半正弦波冲力试验)。该涡轮叶片表面MEMS原位集成热电偶薄膜传感器也经历了温度高达1200℃的航空发动机燃动环境下燃气压力0.5MPa、热流量1.24L&#183；J/(kg&#183；K)的测试，获得了可靠的气动环境温度。该传感器尺寸小而且可以批量地形成传感器阵列，尽可能地避免了传感器对气动环境的扰动及叶片本身的破坏，而且便于安装和连接，可以用于航空发动机涡轮部位的高温温度测量。

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