作者:王瑞荣,侯鹏飞,刘继军,李晓红,陈瞳 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2019年第05期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2019050090 DOC编号:DOCBDTQ2019050099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于石墨烯/PDMS介质层的柔性压力传感器》PDF+DOC2019年第08期 王瑞荣 《基于C-PDMS介质层的柔性电容式传感器研究》PDF+DOC2019年第02期 杜青,李刚,胡杰,李朋伟,桑胜波,张文栋 《微纳结构柔性压力传感器的制备及应用》PDF+DOC 熊耀旭,胡友根,朱朋莉,孙蓉,汪正平 《石墨烯/PDMS仿生银杏叶微结构柔性压阻式压力传感器》PDF+DOC2020年第03期 李伊梦,侯晓娟,张辽原,丑修建 《基于多孔PDMS/MWCNTs的柔性压力传感器》PDF+DOC2020年第04期 汪海船,毛沛楠,吕宏伟,彭慧玲 《微结构构筑方式对柔性传感器性能的影响》PDF+DOC2020年第04期 吴大鸣,李哲,黄尧,鲁元,杜宇,吴刚强,靳倩倩,高孔超 《石墨烯压力传感器的设计与制作》PDF+DOC2019年第09期 刘宁,谭晓兰 《基于PDMS海绵介质层的电容式柔性压力传感器》PDF+DOC2019年第04期 陈瞳,王瑞荣,李晓红 《基于多孔PDMS薄膜介电层的柔性压力传感器》PDF+DOC2019年第04期 李玲,岳凤英,乔霖,申恒瑞,索艳春 《喷印柔性压力传感器试验研究》PDF+DOC2019年第11期 罗毅辉,彭倩倩,朱宇超,王广顺,吴德志,朱睿,谢瑜,孙道恒
  • 提出了一种微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质层的柔性阵列压力传感器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺实现了传感器电极的制备,采用三明治的结构实现了柔性阵列压力传感器的制备。利用压力机和LCR电桥对不同厚度的微结构PDMS作为介质层的传感器性能进行了测试。测试结果表明,采用微结构PDMS为介质层明显提高了传感器的灵敏度,当介质层厚度为0.5 mm时,0~5 kPa和5~20 kPa下传感器的灵敏度分别为0.18 kPa-1和0.02 kPa-1,同时传感器具有良好的重复性(>1 000次)、快速的响应时间(<200 ms)和低的检测极限(约为5.5 Pa)。该传感器能够准确、灵活地监测外部压力的变化和分布,适用于未来智能机器人中电子皮肤的应用。

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