作者：周丽丽,刘正坤,宝剑光,柴葳,洪义麟 单位：中国航天科技集团102所;中国航天科工集团公司二院203所 出版：《宇航计测技术》2018年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYHJJ2018060090 DOC编号：DOCYHJJ2018060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 目前针对国内薄膜瞬态热流传感器一致性较差、制备工艺不成熟等问题，提出了一种基于光刻工艺和离子束溅射镀膜工艺的制备方法，200对T型金属薄膜热电偶沉积在10mm&#215；10mm的水冷块上，测量1μm的氧化铝热阻层温差，从而得到瞬态热流密度值。对新型高温瞬态热流密度传感器进行比对法标定，一致性误差为0.211%，即工艺的一致性约为99.79%。实验表明，研制的新型高温瞬态热流密度传感器的一致性好，制备工艺具备良好重复性和可移植性，能够满足高温瞬态热流检测需要，为热流传感器的推广应用及标准化、批量化生产提供了良好的技术支撑。

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