作者：文常保,王蒙,钟晨昊,宿建斌,巨永锋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2019年第10期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2019100110 DOC编号：DOCCGJS2019100119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点，提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案。该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成，以SVM算法的非线性回归功能为核心，通过DE算法优化SVM参数，经训练后得到温度校正模块，模块接收测量数据后输出校正后的压力值。实验表明，对单个传感器压力值使用DE-SVM模型进行校正，最大误差和均方误差分别下降了93.87%和99.89%；在七块硅基压阻式压力传感器构成的多传感器情况下，最大误差和均方误差分别下降了93.17%和99.27%，平均相对误差由14.06%下降至1.20%；最后选取训练数据不包含的温度点使用所建立的模型进行测试，模型仍能够较好地进行温度补偿。

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