作者：韩楠,潘国峰,郑洁,王如 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2019年第05期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2019050110 DOC编号：DOCBDTJ2019050119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了不同掺杂浓度的Co_3O_4-ZnO纳米复合材料的丙酮气敏特性，并讨论了可见光照射下的光电响应及丙酮气敏响应机理。采用溶胶-凝胶法，制备了Co_3O_4掺杂质量分数分别为0、2.13%、4.13%和6.13%的Co_3O_4-ZnO纳米复合材料，利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和分光光度计对其物相和表面形貌进行了表征。结果表明：掺杂Co_3O_4提高了ZnO厚膜的灵敏度和选择性，在30℃的工作温度下，Co_3O_4掺杂质量分数为4.13%的Co_3O_4-ZnO样品对体积分数为10~(-4)的丙酮的灵敏度为24.36。在可见光照射下，光激发效果明显增强，其灵敏度高达37.24。由Co_3O_4掺杂质量分数为4.13%的Co_3O_4-ZnO制成的传感器表现出优异的丙酮传感特性，有望应用于低功率丙酮气体传感器。

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