作者： 单位：中国机械工程学会;广州机械科学研究院 出版：《机床与液压》2019年第15期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCYY2019150400 DOC编号：DOCJCYY2019150409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构，成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS (微机电系统)加速度传感器，实现了1微(μ) G级(G=9. 8 m/s~2，重力加速度)的高分辨率检测。MEMS (Micro-Electro Mechanical System)就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔TSV等技术把器件固定在硅晶元上，最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的

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