作者：梅盛超,王文,雷刚 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2019年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2019010010 DOC编号：DOCYDSG2019010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《声表面波传感器原理及应用》PDF+DOC1998年第10期 苟永明 《声表面波陀螺仪研究进展》PDF+DOC2019年第09期 王文,邵秀婷 《声表面波气体传感器》PDF+DOC1992年第04期 刘镇清 《传感器用声表面波梳状频谱振荡器》PDF+DOC1991年第06期 Ivan.D.Avramov,袁小平 《文摘选辑》PDF+DOC1988年第04期 《声表面波气体检测器》PDF+DOC1984年第S1期 A.Bryant,M.Poirier,D.L.Lee,J.F.Vetelino,谢蔚文 《声表面波无源无线传感器研究》PDF+DOC2004年第04期 文玉梅,周志坤,李平,杨进 《双声路声表面波质量传感器的研究》PDF+DOC2003年第02期 陈继凯,朱大中,黄浙隆 《声表面波气体传感器技术》PDF+DOC2006年第02期 王利敏 《声表面波气体传感器器件的设计》PDF+DOC2006年第02期 付曙霞,杨震夏

    • 该文对采用钯镍薄膜作为敏感膜的声表面波氢气传感器开展研究，以实现快速的氢气检测。传感器采用双通道差分振荡器结构，其中在传感通道器件声表面波传播路径上以磁控溅射法沉积钯镍薄膜，通过钯镍薄膜对氢气的快速和可逆物理吸附引起声表面波传播速度的变化，进而以差分振荡器频率信号来表征待测氢气浓度。通过传感实验以确定获得快速响应的钯镍的优化厚度。结果表明，在钯镍厚为40nm时，传感器获得的响应幅度与响应速度分别达5kHz和5s。

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