作者：贾雅娜,王文,薛蓄峰,汪承灏,周庆莉,李鹤 单位：中国科学院声学研究所 出版：《声学学报》2019年第04期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXIBA2019040390 DOC编号：DOCXIBA2019040399 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用声表面波(SAW)磁致伸缩效应可以实现一种快速、高灵敏度的电流检测方法，但磁致伸缩薄膜内部矫顽力导致了明显的磁滞误差。磁致伸缩薄膜的栅阵化设计可以减小磁致伸缩时薄膜内部矫顽力，抑制磁滞现象，从而实现高灵敏和低迟滞误差的SAW电流检测。结合有限元和耦合模理论对沉积铁钴(FeCo)薄膜栅阵的声表面波电流传感器中的磁致伸缩效应进行分析，对传感响应进行仿真，确定优化的传感结构参数。为验证理论分析，实验研制了频率为150 MHz的声表面波电流传感器件，并结合差分振荡电路及亥姆霍兹线圈，建立传感器测试系统.实验结果表明，磁致伸缩薄膜的栅阵设计大幅降低了迟滞误差，并显著提升了传感器灵敏度。

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