作者：罗子情,王晓鹏,马玉姣,黄乃兴 单位：中国电子学会 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFELEW2019120500 DOC编号：DOCELEW2019120509 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于RCWA方法设计的甲醛传感器的研究》PDF+DOC2018年第03期 黄子吉,白忠臣,任哲毅,王宝,陆安江 《适合于液相检测的乐甫波传感器》PDF+DOC2003年第03期 潘海峰,朱惠忠,冯冠平 《双层声波导乐甫波传感器的质量敏感度分析》PDF+DOC2009年第02期 陈烨,李红浪,何世堂

    • 1.引言乐甫模式声波传感器已经广泛应用于生物化学和气体检测。乐甫波只能存在于波导层/基底复合结构中，且波导层中的剪切波速低于基底中的剪切波速。关于乐甫波器件波导层的研究，Du等人通过射频溅射技术成功制备出厚度达7.3μm的熔凝石英(Si0_2)厚膜，这种技术的采用解决了Si0_2波导层的制备难题。单向碳纤维树脂复合材料(CFEC)的声阻抗与Si0_2和铝的声阻抗非常接近，且其密度更

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