作者：胡梦飞,刘亚伟,杨露露,谷永先,胡国俊,吕品 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019020290 DOC编号：DOCCGQJ2019020299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置，热源的工作模式为恒温差。流量值通过设计的硬件检测系统处理，通过串口传输至上位机，上位机上通过MATLAB对控制系统输出的数字量进行拟合标定。经过测试，设计的传感器标定后输出特性良好，能够应用于工业领域的流量测量。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS热式微流量传感器发展综述》PDF+DOC MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点，在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构，随后阐述了此类传感器的分类、发展历史与技术特性，最后展望了其今后的发展趋势和应用前景。...
    2. 《双热源质量流量传感器数值模拟研究》PDF+DOC 在微小气体流量测量中，双热源型质量流量传感器具有精度高、反应快以及良好的环境温度适应性等特点。利用ANSYS.FLUENT软件，从反映传感器性能的线性度及灵敏度两大指标出发，改变质量流量传感器热流密度、热源间距、管径等参数进行数值模拟分析，分析了影响双热源型质量流量传感器性能的主要因素，从而为双热源......
    3. 《单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器》PDF+DOC 在(111)硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器。利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计，最大程度降低了传感器的热损耗，提高了传感器灵敏度和响应时间。此外，得益于MEMS微创手术MIS(Micro-openings Inter-etch&amp；Sealin......
    4. 《基于MSP430F2132的温差式原油流量传感器设计》PDF+DOC 设计了基于热力学吸热定律的温差式流量传感器。通过标定试验确定流量与温差的关系后，现场只需测量加热装置前后的温度，即可由单片机MSP430F2132计算得到流量。利用无线模块，实现数据的短距离无线传输。在保证测量精度的同时，降低了流量传感器的成本。...
    5. 《高灵敏管外夹持式超声流量计传感器及流量修正系数的研究》PDF+DOC 本文描述了一种高灵敏管外夹持式超声流量计传感器，其灵敏度比传统的流量传感器高出50%。文中对它的安装作了详细论述；通过试验，对该新颖流量计的修正系数作了深入讨论；所推导公式可满足工程需要。作者研制的此种流量计的测量准确度达1%，预计今后将会成为一种主要的流量测量手段。...
    6. 《射流流量传感器原理与设计》PDF+DOC 论述了射流流量传感器的工作原理、结构和特点，提出了选择传感器主要设计参数的原则。并根据上述原则，给出了一个传感器实例的原理试验装置。试验结果表明，射流流量传感器是一种测量下限低、可靠性高、易于维护、便于使用的流量测量仪器。...
    7. 《被动红外探测器》PDF+DOC 本发明提供一种被动红外探测器．该探测器由两个传感器和一个评价电路组成．第一个传感器(1)用于产生代表热源与探测器背景环境之间温差的红外信号；第二个传感器(3)用于敏感探测器的环境温度；评...
    8. 《单片机在船舶油水分离器监控技术的应用》PDF+DOC 人为故意排放船舶舱底污水是造成海洋环境污染的最主要的污染源之一，为了制止人为故意排放船舶舱底污水，本文研究了一种新的油水分离器监控技术，即单片机的船舶油水分离器监控技术上的应用。该技术将单片机强大的数据采集记录功能应用于海船油水分离器的监控。在油水分离器运行时采集油水分离器的启动和停止时间、油份浓度......
    9. 《热线式流量传感器原理与应用》PDF+DOC 介绍了热线式流量传感器的结构和特点，从流体传热和热量交换的角度，分析了热线式传感器的原理，并对其应用的范围作了简要的叙述。...
    10. 《便携式热量表检定仪的研制》PDF+DOC 设计了一种便携式热量表检定仪器。该仪器以80C196KB单片机为核心，选用相应的超声波式流量传感器和温度传感器实现对流量、温度的检测与测量，可显示相关参数，使其与户用热量表测得的参数对比，从而实现检定功能。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。