作者：刘洋 单位：北京新材料发展中心 出版：《新材料产业》2019年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXCLY2019030110 DOC编号：DOCXCLY2019030119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1微机电系统(MEMS)现状和发展趋势随着智能制造和物联网的快速发展，传感器作为数据采集的入口，其关键器件的作用越来越重要。万物互联时代必将使智能终端大规模推广应用，传感器的市场需求也会随之急剧增加，并且主要应用类别逐渐向具有高技术含量的MEMS传感器领域转移。

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