作者：叶子,林文章,李凡,赵俊杰,林青 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2015年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2015120090 DOC编号：DOCBDTQ2015120099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用Stber法，以Fe_3O_4为磁核，制备出粒径为250~300 nm的磁性SiO_2-Fe_3O_4复合微球。详细介绍了Stber法制备微球的实验过程，并对所制得的复合微球做了X射线衍射(XRD)结构分析、扫描电子显微镜(SEM)形貌表征以及振动样品磁强计(VSM)磁性性能测试分析。此外，还在金属氧化物半导体(MOS)电容结构的基础上，结合SiO_2-Fe_3O_4复合微球的独特结构，制作了一种新型电解液-二氧化硅-微球-半导体(ESSS)电容结构化学传感器，并在不同pH值溶液下，分别测试了ESSS电容的电容-电压(C-V)曲线，测试结果初步证实了ESSS电容结构用作化学传感器的可行性。

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