作者：杨宇新,揣荣岩,李新,张冰,张贺 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2019年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2019110250 DOC编号：DOCYBJS2019110259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为满足极端应用情况对高过载加速度传感器的需求，设计了一种带有微梁的加速度敏感结构。通过对主梁和微梁应力分布及敏感结构固有频率的仿真分析，给出了该敏感结构的设计方法，以此确定了传感器的结构参数。基于单晶硅材料断裂强度的尺寸效应，分析了敏感结构的过载特性。仿真结果表明，微梁的引入极大改善了加速度传感器的过载能力，所设计量程为1g的加速度敏感芯片，其满量程输出约为40 mV，过载可达79倍量程。

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