作者： 单位：中国电子学会 出版：《》 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFELEW2015190180 DOC编号：DOCELEW2015190189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着消费电子产品的不段创新，受益于智能手机和平板电脑的快速发展，微机电(MEMS)应用已经悄然渗透进入消费者的生活。从游戏市场的加速度计，到手机上的陀螺仪、触摸屏上的压力传感器、麦克风，到智能家居中的紫外传感器、湿度传感器，尽管并不常被人们关注，但MEMS技术在过去的15年中经历了翻天覆地的变化。从三星曲面屏幕Edge系列的触摸屏驱动芯片，到魅蓝手机的加速度陀螺仪惯性MEMS，再到最新上市的LG

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