作者:王军波,何超超,陈德勇,陈健,魏秋旭 单位:中国科学院电子学研究所;国家自然科学基金委员会信息科学部 出版:《电子与信息学报》2018年第11期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZYX2018110340 DOC编号:DOCDZYX2018110349 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS无源无线压力传感器研究》PDF+DOC2013年第11期 刘谨,欧文,高璇 《可穿戴式柔性触觉传感单元制备及测试》PDF+DOC2018年第03期 刘韵 《封面图片说明》PDF+DOC2020年第07期 周建辉,曹建国,程春福,尹海斌,余宁,范阳 《基于石墨烯的无线无源湿度传感器》PDF+DOC2020年第06期 廖振兴 《基于MEMS电阻式压力传感器的设计》PDF+DOC2019年第06期 杜志,贺建波 《MEMS的微粒污染和失效分析》PDF+DOC2002年第01期 吴健 《表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化》PDF+DOC2006年第10期 庄志伟,王喆垚,刘理天 《无线无源LC谐振式位移传感技术研究》PDF+DOC2014年第35期 魏坦勇,谭秋林,罗涛,熊继军 《无线无源压力读取系统中线性扫频源的设计》PDF+DOC2015年第09期 张海瑞,梁庭,洪应平,谭秋林,贾平岗,曹群,熊继军 《比利时研制出可拉伸和弯曲的光学电路》PDF+DOC2014年第02期
  • 连续监测眼压对于辅助诊断与治疗青光眼疾病具有重要作用,现有的眼压传感器存在相对灵敏度较低、中心谐振频率较高、制作工艺难度大等问题。为了解决上述问题,该文提出一种基于MEMS的非侵入式无线无源型眼压传感器。该传感器为5层堆叠结构,采用Parylene作为柔性衬底层、铜作为电极层、PDMS作为介电层,其中电极层和介电层构成两个电感和两个电容,形成C-L-C-L串联谐振电路。通过MEMS平面工艺和热塑形方法制作成能够与眼球紧密贴合的曲面形状,这种设计方案能有效地解决传感器的制作工艺难度大等问题。实验结果表明:该眼压传感器的中心谐振频率降低到了40 MHz,相对灵敏度达到1028.57 ppm/kPa,能够分辨出最小50 Pa(0.375 mmHg)的眼压值变化,为实现长期、连续性地监测眼压提供了技术支持。

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