《薄膜瞬态温度传感器的制备及性能研究》PDF+DOC
作者：崔云先,薛帅毅,周通,李东明,牟瑜
单位：中国仪器仪表学会
出版：《仪器仪表学报》2017年第12期
页数：8页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFYQXB2017120180
DOC编号：DOCYQXB2017120189
下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《内燃机活塞表面瞬态温度传感器的研制》PDF+DOC2015年第09期 崔云先,赵家慧,刘友,丁万昱,盛晓幸,宫刻
《薄膜热电偶测温螺钉传感器的研制》PDF+DOC2015年第02期 崔云先,盛晓幸,刘友,丁万昱,赵家慧,安阳
《便携式薄膜热电偶测温传感器》PDF+DOC1996年第01期 薛晖,李付国,黄吕权
《基于镍基合金薄膜的热电偶传感器研制》PDF+DOC2020年第02期 顾宝龙,赵振平,陈浩远,潘威,张志强
《多层复合式薄膜热电偶的研制》PDF+DOC1995年第03期 李付国,黄吕权,薛晖,吴诗惇
《新型薄膜切削温度传感器动态特性的理论计算》PDF+DOC2007年第02期 曾祥森,崔云先,张志军,孙宝元
《薄膜热电偶瞬态温度传感器Al_2O_3绝缘膜制备工艺及性能表征》PDF+DOC2014年第07期 崔云先,郭立明,盛晓幸,丁万昱,安阳,赵家慧
《火焰温度场测试中的传感器动态响应研究》PDF+DOC2016年第03期 赵学敏,王文廉,李岩峰,孟博
《高速动车组轴温测量用特种结构薄膜传感器的研制》PDF+DOC2018年第01期 崔云先,胡晓勇,薛帅毅,刘义,牟瑜
《磁控溅射法制备NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器》PDF+DOC2006年第02期 贾颖,孙宝元,曾其勇,徐静
针对普通温度传感器存在响应时间长、无法快速测量瞬态温度以及薄膜热电偶引线困难的技术难题，研制了一种响应速度快、测量精度高、引线方便的薄膜瞬态温度传感器。采用直流脉冲磁控溅射技术，在嵌入Ni Cr-Ni Si平行电极丝的陶瓷基体端面依次沉积Ni Si功能薄膜和Si O2绝缘保护薄膜。利用自行研制的静态标定系统对薄膜传感器的静态性能进行了研究，结果表明所研制传感器在50~400℃范围内具有良好的线性和热稳定性，塞贝克系数为41.2μV/℃，非线性误差不超过0.05%，改变Ni Si薄膜的厚度对传感器的塞贝克系数影响很小。利用ANSYS有限元仿真和动态标定实验对薄膜传感器的动态性能进行了研究，结果表明所研制传感器的响应时间为μs级，时间常数随着Ni Si热接点薄膜厚度的增加而增大，改变激光脉冲能量对传感器时间常数的影响很小。利用温度检定炉对薄膜传感器进行了测温试验研究，结果表明所研制传感器能够快速响应温度的变化，可为瞬态温度的测试提供有效的方法和技术途径。
提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。