作者：杨瑞峰,吴耀,郭晨霞,葛双超,杨睿 单位：上海市激光研究所 出版：《应用激光》2019年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYJG2019010200 DOC编号：DOCYYJG2019010209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现对工件表面形貌的非接触精密测量，提出了一种基于光纤传感的表面形貌测量系统，并对系统的测量原理和关键技术进行了研究。通过对光纤传感器发射光纤的出射光强进行建模分析，找到光强调制函数与被测距离的对应关系。针对测量系统中光源的稳定性和工件表面反射率变化对形貌测量的影响，提出了增加参考光路的补偿技术。实验结果表明，标定的位移调制特性曲线具有较好的重复性，重复性误差为3.82%，且曲线前坡的线性区间为0.2～0.6 mm，灵敏度为1.11 mW/mm，在线性区间内进行微位移测量，测量的平均绝对误差为2.8μm，对工件表面台阶高度标定值为100.0μm的台阶进行10次测量，台阶高度的平均绝对误差为6.2μm，说明本测量系统能较好实现工件表面形貌的测量。

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