作者:陈露,朱佳利,李泽焱,王鸣 单位:中国光学学会 出版:《光学学报》2016年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXXB2016030070 DOC编号:DOCGXXB2016030079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计并研制了一种新型的波纹膜片式光纤法布里-珀罗压力传感器,运用仿真软件对波纹膜片进行膜片参数的优化,完成了波纹膜片式法布里-珀罗压力传感器的结构设计与制备,同时用搭建的微压传感器测试系统对压力传感器进行了测试。实验结果表明,本传感器在0~0.1 MPa的压力范围内,线性度好,重复性好,灵敏度高。

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