作者:张圣贤,孙庆龙,惠相君,周鹏飞,汪家乐,孙靖康,崔玉国 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2019年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2019010310 DOC编号:DOCYDSG2019010319 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为提高微定位系统的灵敏性,设计了三自由度并联压电微定位系统的新构型。首先,在考虑平台结构具有对称性的基础上,采用双平行四连杆机构对台体进行设计,并设计了可集成于台体的承载模块及传感器安装模块;接着,采用有限元法对平台的位移、应力、刚度及模态进行了分析;最后,基于所搭建的实验系统,对平台的位移及频率响应特性进行了测试。实验结果表明,在120V电压的作用下,平台沿x向的最大位移为26.0μm(此时沿y向产生的寄生位移为141.0nm),沿y向的最大位移为25.9μm(此时沿x向产生的寄生位移为39.7nm),绕z轴的最大转角为210μrad;平台x、y向的位移分辨率均为6.5nm;平台x、y、θz向的固有频率分别为328.0Hz、481.3Hz、402.8Hz。

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