《薄膜热电偶的研究进展》PDF+DOC
作者：王伟超,张军战,张颖,杨迪
单位：中国兵器工业第五九研究所;中国兵工学会防腐包装分会;中国兵器工业防腐包装情报网
出版：《表面技术》2019年第10期
页数：9页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFBMJS2019100180
DOC编号：DOCBMJS2019100189
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现代科学技术对各种场合下局域温度的准确测量提出了新的要求，极大地促进了温度传感器的发展。薄膜热电偶因具有无源、响应时间短、精确度高以及对测试环境几乎无影响等优点，在温度测量领域具有广阔的应用前景。对薄膜热电偶近年来的研究进展与热点进行了综述。首先简单介绍了以不同材料为基底时，薄膜热电偶的结构。然后分别介绍了应用于航空发动机热端部件高温测量的金属合金类、陶瓷类和复合类薄膜热电偶及其常用的电极材料。讨论了薄膜厚度、退火处理、电极薄膜类型、气氛和掺杂等工艺对薄膜热电偶热电势、Seebeck系数、耐高温能力和电极材料微观结构等方面的影响，将近年来的典型研究成果进行了汇总，并阐述了陶瓷类薄膜热电偶应用于航空发动机中温度监测的优势。此外，分析讨论了应用于局域二维温度场测量的阵列型薄膜热电偶的发展、结构优化设计、制备工艺研究与改进以及实际测温场合中的布局。最后，对薄膜热电偶在相关应用领域的研究和发展方向进行了展望。
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