作者：马丽,宋宏斌,王磊,杨梅 单位：广东省电子学会 出版：《现代信息科技》2018年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDXK2018100710 DOC编号：DOCXDXK2018100719 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在石油、化工企业，以及地下燃气管道、加油站等地方，容易存在可燃气体泄露的隐患。传统的方法是用催化燃烧气敏元件来检测可燃气体的泄露，随着智能物联网的发展，越来越多的研究者研究MEMS可燃气体传感器。MEMS可燃气体传感器是采用微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统传感器相比，它不但具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、稳定性好、适于批量化生产、易于集成等特点，而且实现了智能化、多功能化。

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