作者：李丰,谭晓兰,王通尘 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2018年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2018010080 DOC编号：DOCYDSG2018010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统(MEMS)传感器结构参数的微小变差会影响其性能稳定。为提高MEMS传感器性能的稳健性，以压电双晶梁MEMS传感器为例，根据Smits模型，分析压电双晶梁的设计变量和噪声因素的随机性，建立基于随机模型的稳健设计数学模型；编制算法程序，确定MEMS传感器的最优设计解结果优于原设计方案。对比其稳健设计容差模型所得优化解，两者误差率为6.17%，验证了稳健设计结果的正确性。研究表明，即使设计变量存在变差，稳健设计仍能提高MEMS传感器的性能，并保证设计解的稳健性。

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