作者：谭跃刚,陈宇佳,李瑞亚,毛健,刘芹 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2018年第03期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2018030060 DOC编号：DOCGXJM2018030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了测量控机床结构件、微加工工作台的微小变形量，设计了一种高精度弓型光纤布拉格光栅(FBG)微位移传感器。将光纤布拉格光栅的栅区部分粘贴在弓型上下壁处，当弓形件发生变形时，可测出上下壁的应变值，从而测得位移值并进行温度解耦。实验结果表明，在量程为1mm时，传感器的灵敏度为2.02pm/μm，线性相关系数为0.998 3，实验的迟滞误差为4.08%，重复性误差为4.08%。在温度补偿实验中可以看出，当温度上升1℃，波长漂移量不到1pm。类似于弓型结构衍生出一种半弓型结构的位移传感器。两类传感器相比，弓型传感器的温度灵敏度比半弓型传感器小0.001 5pm/μm，温度补偿效果更好；但半弓型传感器的线性度为0.4%，线性度比弓型传感器好。两种传感器均满足测量值稳定可靠、精度高、抗电磁干扰能力强，温度不敏感等要求。

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