作者：胡文锦,许兵,史杨,胡衍雷,吴东 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》2018年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ2018090240 DOC编号：DOCJJZZ2018090249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用飞秒激光双光子直写技术，在微流控芯片内部集成了一款三维(3D)弹簧状流量传感器。加工的弹簧状流量传感器可以循环拉伸多次，且变形可逆。另外，不同的激光曝光能量能够加工不同厚度的弹簧状流量传感器，从而可以检测出不同范围的流速，最小可检测10-12量级的流速。该流量传感器可以用于多种微流控器件中，尤其适用于需要将流速检测与微流控器件结合的场合以及超低流速的检测应用中。

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